Resumen

Se depositó recubrimientos de Nitruro de Titanio (TiAlN) por medio de la técnica Magnetrón Sputtering Tríodo variando la presión. El análisis se realizó aumentando y disminuyendo la presión de trabajo, para determinar las curvas de presión. Estas curvas se realizaron en una atmosfera de N2/Ar y utilizando un blanco de Titanio-Aluminio. Se observó un cambio en la microestructura a partir de los análisis de difracción de rayos X.

Palabras clave: Curvas de presión histéresis magnetrón sputtering tríodo microestructura TiAlN.

2014-03-11   |   617 visitas   |   Evalua este artículo 0 valoraciones

Vol. 18 Núm.4. Diciembre 2013 Pags. 646-650 Scientia et technica 2013; 18(4)